中科院声学所设计出耐高温声表面波温度传感器件
国内科学院声学研究所超声技术中心博士生李学玲及其导师王文等,采用短脉冲法提取精确 反射系数,并用典型 耦合模(couplingofmodes,COM)模型,狗粮快讯网当天信息,对LGS/Pt结构声表面波温度传感器件进行优化设计,仿真和试验证明该器件具有良好 高温传感性能。相关研究成果在线发表在Sensors上。
图 用于提取反射系数 声表面波装置 结构(上)和反射系数测量实验装置(下)
图 反射系数测量与高温传感器响应
研究人员利用光刻技术研制 零零MHz单端口声表面波谐振器,狗粮快讯网整体获悉,用网络分析仪对其测量得到较高 Q值,测量结果与模拟结果吻合良好。在 零～ 零℃ 温度范围里,测试所制备 传感器件 高温特性,测试结果显示其具有良好 稳定性和线性TCF(～ ppm/°C.),证明该器件具有较好 高温传感性能。
研究人员基于不同Pt膜厚与波长比 LGS/Pt器件 结构开展实验研究。科研人员采用新小 乘法对实验资料统计进行拟合,狗粮快讯网近日报道,得出反射系数计算公式,利用有限元技术提取Pt/LGS 产品COM参数,通过典型 COM模型对Pt/LGS结构 单端口谐振器进行模拟,并确定了具有较大Q值 新佳设计参数。
研究表明,声表面波高温传感技术可用于极端高温环境下 高灵敏度温度监测和预警。
高温环境引起 热辐射损耗会导致传感器器件有较大 声波衰减,因此在这种环境下工作 传感器应具有足够大 品质因数(Q)且损耗较低。传统 有线有源传感器不能用于高温环境下 温度测量,而基于声表面波(surfaceacousticwave,SAW) 无线无源温度传感器为此提供了良好 解决方案。
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